浅析真空泵机组工作原理

罗茨真空泵机组在一般状况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除很多的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵扫除可凝性蒸汽能力不行，或运用的溶剂能使泵油恶化而影响功能，或者是真空体系不答应油污染的时分更为显着。罗茨泵－水环泵机组广泛地用于化工、食物升华干燥、高空模仿试验等的抽真空体系中。这类联合机组，大致有如下几种类型。

1、罗茨泵－水环泵：机组中水环泵的作用是形成罗茨泵所需的准备真空，因而要求该水环泵的最大答应排气压力，便是说，一方面要尽量进步水环泵的极限真空，另一方面，也要设法进步罗茨泵的最大答应排气压力。

一般状况，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国出产的罗茨泵要求的预真空又较高，故实践上不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用能进步极限真空度的双级水环泵作为前级泵运用，选用双级水环泵，还能够进步机组的极限真空度。 一台罗茨泵的极限真空度是较低的，特别是当它与水环泵组合运行时，运用规模遭到约束，整个机组的极限真空度可能更低，但若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就能大大进步机组的极限真空度。故在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级水环泵作前级泵 组成机组。

2、罗茨泵－水环泵－大气泵机组：即便选用双级水环泵，极限真空度的进步也只是在一定的规模之内，这是由于遭到水的饱满蒸汽压的约束。水环泵的理论极限 压力就是水的饱满蒸汽压。假如考虑气体返流等要素的影响，实践上水环泵的极限压力明显比该水温上的饱满蒸汽压力为高。为了进步前级泵的极限真空度，还能够 使水环泵与大气泵组合运用。见 图 2 。这样，串联一级大气泵后的极限真空度可达 20~30Torr, 假如水环泵与二级大气泵组合，则极限真空可达 2~10Torr 。