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罗茨真空泵基础压力说明

来源:http://www.sdzhanggu.com/news/161.html   发布时间:2017-01-16

罗茨真空泵是比较常见的一种真空泵设备,在很多领域中都得到了广泛的应用。因其优秀的性能,备受广大客户的喜爱。罗茨真空泵是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。罗茨真空泵品牌下面说说罗茨真空泵基础压力。

罗茨真空泵基础压力

罗茨真空泵


一直以来所有真空泵都有一个非常重要的性能指标———极限压力,但极限压力对真空泵而言其实并不十分确切,正如ISO21360-1 所指出的那样:极限压力是测试罩内渐近的压力值,它是泵可获得的最低压力,但没有一个实际的测量方法或规范。也就是说,它是一个无限的渐近的值,它永远也达不到所谓的极限和最低,是一个无法测量的值。ISO21360-1 提出了一个新概念—基础压力,但它并没有给基础压力提出一个确切的定义,我们认为可以这样定义:基础压力———泵按规定条件工作,在不引入气体的情况下,标准测试罩内趋向稳定的压力,单位为Pa。与极限压力的定义相比较,基础压力的定义中取消了“最低”,也就没有了极限的含义。这是一个可以测量的值,我们认为所有真空泵都应该将性能指标中的“极限压力”修改为“基础压力”,尤其是单独使用的、直接排大气的真空泵,如滑阀泵、旋片泵、液环泵、活塞泵、涡旋泵、爪式泵、湿式罗茨泵和气冷式罗茨泵等等。基础压力对罗茨泵而言,并不是罗茨泵本身的特征性能指标,它在很大的程度上取决于前级泵的类型(基础压力)和温度,因此在标注泵的基础压力时,必须同时注明所配置的前级泵类型。过去曾一度认为,我们罗茨泵的基础压力始终不如国外的好,后来查明是因为当时作为前级泵的旋片泵质量不是最好,更换上质量好的前级泵,罗茨泵的基础压力就完全达到了国外泵的先进水平,这就充分说明基础压力并不是罗茨泵本身的特征性能。考虑到基础压力比较直观,生产厂商和用户的习惯,改变和认识还需要一个过程,这次罗茨泵新标准中仍将基础压力列入主要性能指标。

基础压力的测量中,全压的测量示值过去规定为经校准的热偶真空计的示值,实际上国际标准中早已规定测量仪表为薄膜计,目前我国薄膜真空计的使用已经普及,而且它的精度远高于热偶真空计,因此新标准中全压的测量示值已规定为经校准的薄膜真空计的示值。

薄膜真空计使用中必须注意一个问题,因为薄膜计从结构上可分为二种型式:相对式和基准式。基准式中有一个高真空基准膜盒,薄膜计的示值实际上是传感器的测量值与基准膜盒相比较的结果,基准膜盒由于放气和漏气,它的真空度虽然非常缓慢,但都在不断地下降,因此薄膜计的零位应该经常进行校准,尤其是对低量程的1 Torr(100 Pa)和0.1 Torr(10 Pa)的传感器而言,故基准膜盒应根据具体情况,限期进行高真空处理或更换。相对式是以一台高真空泵(如分子泵)替代基准膜盒,因此薄膜计的零位不需进行校准,有条件的单位应采用这种型式的薄膜真空计。当然薄膜真空计整计(包括传感器、显示仪和电缆等)必须定期送规定的计量部门检定。

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